產品參數：
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電源系統 |
功率 |
F13.56MHz 0-600W （射頻電源） |
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真空系統 |
真空管路 |
全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
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材質 |
鋁合金 |
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密封性 |
一體成型 |
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腔體體積 |
6L |
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適用產品尺寸 |
180-280mmX25-90mm(長x寬) |
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適用料盒尺寸 |
180-290mmX25*93X250mm(長X寬X高) |
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通道數量 |
標準4條（可定制） |
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電極板大小 |
340x500mm |
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等離子激發時間 |
等離子激發清洗時間 |
5Sec |
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產量 |
UPH |
480（蛇皮時間10S，4條流道時） |
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清洗能力 |
水滴角 |
水滴角測試＜12° |
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流量范圍 |
0-300SCCM |
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工藝氣體 |
標配2路，可定制 氬氣： 3bars 1L/min 氮氣 : 3bars 1L/min |
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其它參數 |
電源 |
AC 380V 5.5KW |
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外形尺寸 |
1600mmX1200x1600 |
產品特點：
1、軌道寬度可調，可選擇同時清洗四種不同寬度的產品；
2 、片式清洗，清洗效果更明顯；
3 、單邊上下料結構，無需更換料盒，清洗后的產品自動回到原來的料盒，杜絕混批；
4、 雙清洗托盤，一個清洗的同時另一個備料，提高生產效率；
5 、一鍵更換產品，設備所有參數及設置自動加載，無需人工設定；
6、手動清洗與自動清洗均一鍵操作，操作使用更簡單；
7、 產品安全多重設計，確保不會造成產品變形損壞；
8 、四條通道每個地方獨立檢測，準確判斷問題所在；
9 、設備安全多重設計，確保人身安全；
10、 模塊化設計，國際品牌配置，確保設備穩定運行。
